產(chǎn)品主要作用：用于半導(dǎo)體器件制備工藝中外延、化學(xué)氣相淀積工序

產(chǎn)品中文名：三氯氫硅

產(chǎn)品英文名：Trichlorosilane

化學(xué)式：SiHCl3

CAS號(hào)：10025-78-2

UN 號(hào)：1295

純度： 99.999%

閥門(mén)型號(hào)：1/4VCR/1/2VCR