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四氯化硅

產品介紹

產品主要作用:用于半導體器件制備工藝中外延、化學氣相淀積工序

產品中文名:四氯化硅

產品英文名:Silicon Tetrachloride

化學式:SiCl4

CAS號:10026-04-7

UN 號:1818

純度:99.9999% 

閥門型號:1/4VCR/1/2VCR


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