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六氟乙烷

產品介紹

產品主要作用：用于等離子干刻工序

產品中文名：六氟乙烷

產品英文名：Hexafluoroethane

化學式：C2F6

CAS號：76-16-4

UN 號：2193

純度：99.999% 

閥門型號：CGA660/DISS716


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