硅烷
產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品主要作用:用于半導(dǎo)體器件制備工藝中外延、化學(xué)氣相淀積等工序
產(chǎn)品中文名:硅烷
產(chǎn)品英文名:Silane
化學(xué)式:SiH4
CAS號:7803-62-5
UN 號:2203
純度: 99.9999%
閥門型號:CGA350/DISS632
硅烷
產(chǎn)品主要作用:用于半導(dǎo)體器件制備工藝中外延、化學(xué)氣相淀積等工序
產(chǎn)品中文名:硅烷
產(chǎn)品英文名:Silane
化學(xué)式:SiH4
CAS號:7803-62-5
UN 號:2203
純度: 99.9999%
閥門型號:CGA350/DISS632