產(chǎn)品主要作用：用于半導(dǎo)體器件制備工藝中外延、化學(xué)氣相淀積工序

產(chǎn)品中文名：二氯氫硅

產(chǎn)品英文名：Dichlorosilane

化學(xué)式：SiH2Cl2

CAS號(hào)：4109-96-0

UN 號(hào)：2189

純度：99.99% 和99.999%

閥門型號(hào)：CGA678